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机型特点
可进行曲线及直线图形切割,性能稳定可靠等优点。
适用材料和行业应用
* 主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割,可加工
太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等。
* 一体化结构,占地面积小,光束质量好,软件功能强,整机运行稳定可靠,操作简
单,切割效率高,适合大批量加工。
技术参数
* 激光工作介质 : Nd:YAG
* 激光波长 : 1.064μm
* 激光功率 : 100W(灯泵浦)
* 激光功率不稳定度 : ≤3%
* 调制频率 : 500Hz-50KHz
* 出光方式 : 连续激光调Q
* 切割速度 : 15-100mm/s(视材料而定)
* 重复精度 : 0.002mm
* 切割范围 : 180mmX180mm
* 最大切割深度 : #p#分页标题#e#1.5mm(单晶硅)
* 切割线宽 : 0.02-0.2mm(视材料可调)
*
X、Y工作台行程:
200mmX200mm* 供电电源 : AC380V±10%,50Hz
* 输入功率 : ≤5KW
* 冷却系统 : 制冷机组
* 内循环介质 : 去离子水,蒸馏水或纯净水
* 安全性 : 过流保护、过温保护、过压保护
* 激光器连续工作时间 : ≤16H
* 重量 : 240Kg
* 外型尺寸 : 900mmX1300mmX1400mm
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