相干公司推出新型准分子激光退火（ELA）系统VYPER，实现用于下一代平板显示器的低温多晶硅（LTPS）的量产。LTPS是用于智能手机和平板电脑的轻型节能液晶显示器（LCD）和有机发光二极管（OLED）显示器的关键部件。

　　新型千瓦级VYPER准分子激光器与改进的线光束光学系统相结合，提供可升级的平台，使LTPS显示器制造商能够从目前的第四代面板无缝转向第六代，显著提高产量。而且，VYPER的先进设计和能力支持直至第八代的设计，从而使制造商也能满足未来严格的成本目标。

　　“目前大多数移动显示器使用相干公司的准分子激光器和线光束光学系统制造。”相干公司副总裁Richard Waldermann说。“随着准分子激光器输出功率和线光束长度的提高，我们看到VYPER系统得到广泛采用，实现了直至第八代大尺寸面板的低成本高效的生产。我们期望基于LTPS技术的相干公司ELA系统继续成为快速增长的高分辨率显示器市场的首选。”
 

图 相干公司新型准分子激光退火（ELA）系统VYPER