相干公司的准分子EnergyMax能量探头是特别为波长在193nm的ArF激光器和波长为248nm

的KrF激光器设计的。准分子EnergyMax系列精度高，有效探测面积大（最大口径可达50mm），

并且采用新型涂层，从而大大提高了长期抗损伤能力。

准分子激光EnergyMax探头的主要特点

• 独特的MaxUV涂层，提高抗损伤阈值和长期抗紫外照射能力，提高响应工作频率
• 光谱测量范围190nm~2.1μm
• 能量测量范围 50μJ~250mJ
• 最高响应频率: 400Hz
• 自动波长补偿功能
• 自动温度补偿功能

产品的详细资料

准分子EnergyMax系列有4个不同型号，其中2个型号的最佳工作波长为193nm，

另外2个型号的最佳工作波长为248nm（尽管这4种型号都能在紫外，可见和近红外精确测量）。

这些探头都采用相干公司独特的MaxUV涂层，大大提高了深紫外区的抗损伤阈值和抗紫外长期照射能力，

同时也将最高响应频率提高到400Hz。

准分子EnergyMax系列可自动对环境温度和波长进行补偿，以获得更精确的数据读取。

这系列探头与相干公司的LabMax-TOP, 3sigma, FieldMaxII-TOP, FieldMaxII-P, EPM1000和EPM2000

等能量表头兼容。

这两类探头匹配可选的散热片后可以承受更高的能量/平均功率。这些散热片可分别将J-50MB-YAG

和J-25MB-IR可承受平均功率提高到48W和62W水平。
所有准分子激光探头匹配可选的散热片后都可以承受更高的能量/平均功率。这些散热片可分别将

J-25MUV-193 & -248和J-50MUV-193 & -248可承受平均功率提高到36W和43W水平。（两者均在波长193nm情况下）。

下表列出了具有可拆卸散热片的能量探头能够承受的最高平均功率。

所有的EnergyMax探头均配以3英寸高的标准底座。我们也有2英寸的底座（产品号1135565）。可选，如果您需要匹配2英寸的底座，

请与相干公司的销售代表特别说明。