相干公司130W LEAP准分子激光器

相干公司2kHz的IndyStar 准分子激光器

采用紫外准分子激光器进行聚合物的加工可以产生非常干净的烧蚀效果，而且几乎不会产生热效应区。同时随着准分子激光器输出功率的增长，其加工效率也不断提高。

目前，紫外微加工技术在塑料衬底上最卓有成效的一项应用就是用于喷墨打印机高质量喷嘴的制造，它要求在塑料基板上钻出孔径为10-50um的微孔。这种超高精密度的加工工艺是采用248nm或者308nm的准分子激光器通过掩模板成像技术来实现的，它要求激光输出功率密度达到600-800mJ/cm2。掩模板成像技术一次可以加工出300个微孔。通常加工一个完整的喷嘴微孔阵列需要200个激光脉冲。相干公司130W的LEAP系列准分子激光器工作频率可达200Hz，非常适合于这种钻孔应用。

对于个别的需要更加灵活的钻孔方式的需求而言，一个可行的办法就是采用扫描头来改变输出光束在塑料基板上的位置。除非你需要在塑料基板上钻斜孔，否则，采用这种方式就必须要配置一个垂直场镜，这样才能保证入射光始终都是垂直照射在塑料基板上。由于现在扫描振镜的速度非常快，因此相应地需要高重频的准分子激光器，相干公司的IndyStar系列激光器就是这样一款产品，它具有2kHz的重复频率。

图1：50um厚度的塑料板加工出的孔径60um的通孔，波长308nm，能量密度800mJ/cm2, 200脉冲