2012年1月24日,相干公司推出了其工业级超快激光器的新产品:Talisker 500。这款激光器最大可以提供10W的355 nm紫外光,15W的532 nm绿光或者25W的1064 nm红外光输出。同时新一代的Talisker系列产品的激光输出频率也提升到500 kHz,甚至更高。由于具有短脉冲(10 ps)以及多种波长可选的优势,Talisker 500成为激光精密加工领域一款理想的光源,尤其在微电子激光加工以及那些对于产量要求比较高,而对激光加工过程中热效应区(HAZ)必须尽可能小的精密加工领域。同时新系列的Talisker激光器采用了结构紧凑的模块化设计,激光头体积小巧(1020 mm x 390 mm x170 mm),电源和控制模块独立包装,这样便于用户进行设备集成和产品升级,以获得更好的产品性能。
Talisker 500激光器通过优化整合光纤传输以及自由空间光振荡技术,实现了优异的激光输出性能。同时,依靠相干公司独特的产品设计以及丰富的工业级激光器制造经验,该款激光器拥有超强的稳定性。它同样采用了美国相干公司国际化产品的多项成熟制造技术,比如采用无铝工艺(AAA)的半导体制备技术以及半导体阵列的光纤耦合传输技术等。
Talisker 500系列激光器适用于各种产能要求高的激光微加工领域,尤其是一些脆性材料,薄膜材料以及高带隙材料,比如玻璃和陶瓷等。例如在半导体器件加工领域中硅片的划片,切割及钻孔。在LED芯片制造中,蓝宝石基片的划线以及太阳能行业一些对于热效应区比较敏感的薄膜切割,包括透明介质氧化物(TCOs)等都比较适合采用激光加工工艺来实现。
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