工作原理激光扫描显微镜的工作原理与扫描电子显微镜相似，它与电镜不同之处是用激光束代替电子束工作。经过聚焦的激光束射到样品上，由样品上的反射光形成图像。在激光扫描显微镜中采用了自动聚焦装置，它在样品的每一个像素点上都进行聚焦。每一个调焦值都由计算机贮存起来，全部调焦值即构成了立体图像的第三维图像数据信息。由此可见激光扫描显微镜的最大特点就是能显示出样品真正的(非模拟)三维立体图形，其图像的三维尺度都可以用数值准确的标定。

　　自动聚焦原理现仅以线扫工作方式为例说明其原理。由激光源a产生的激光经聚焦后形成激光束b,穿过半透镜f再经物镜。聚焦后射到样品d上，样品反射光经半透镜反射到棱镜g，经过差分光电器和放大器h后再到控制器k和计算机1。当差分光电器检测出散焦时，通过计算机和控制器调整物镜的距离使聚焦正常。当样品台沿水平方向扫描时，计算机将贮存f每一点的调焦值，最后在显示器上构成二维的线扫图形。该图形y轴分量表示了样品的高度信息。

　　主要工作参数工作距离:1~45mm;测量范围:0. 005~lmm;最高垂直分辨率:lnm。

　　特点及应用真实的三维图形显示，样品制备简单、大气环境测试观察、图像贮存和处理方便、结构简单、故障率小、维护方便。激光扫描显微镜可用于样品的微观形貌观察，表面结构和粗糙度测量、振动和形变的观察。它可广泛用于材料涂层、微器件、薄膜、集成电路等方面的观察与测量分析。