Surphase 3D表面测量仪

Surphase 3D表面测量仪是整合了光源、物镜以及扫描台的整体式3D表面测量仪. 其主要参数与MicroPhase类似, 是非常灵活和实惠的选择。

特点：
♦ 经济智能的成像解决方案
♦ 高分辨率数字显微相机
♦ 处理速度快&高精度3D表面平整度分析
♦ 多成像处理
♦ 采取最先进的图像处理和波阵面传感.
♦ 采用微相技术作为最终的成像技术，降低高质量成像显微镜价格

软件功能：
三维分析&测量——3D表面形貌图、表面轮廓图、台层高度测量、2D测量、粗糙度、波纹图；数据采集&处理——自动标定、自动采集、自动处理、自动聚焦&曝光、范围任选功能、导航功能；数据输出&报告——项目报告归档与编辑、3D数据Excel格式输出、3D数据第三方软件输出、HTML格式。

测量能力：
3D表面形貌表面轮廓粗糙度&波纹台层高度

应用范围：
膜层太阳能硅片纸张高分子材料砂轮橡胶金属探针划痕焊点

主要参数：

物镜		5X		10X		20X		50X			100X
工作距离，mm		23.5		17.5		4.5		1			1
数值孔径		0.15		0.3		0.45		0.8			0.9
测量范围(X,Y)，mm²		1.3 x 1.0		0.66 x 0.53		0.33 x 0.27		0.13 x 0.10			0.065 x 0.05
水平分辨率(X,Y)，μm		2.8		1.4		0.9		0.5			0.4

GetPhase(GP)/ GetPhase Extended(GPE)	GP		GPE		GP	GPE	GP		GPE	GP	GPE	GP	GPE
最大角度，degrees	8		89		16	89	24		88	38	84	42	78
垂直范围(Z)，μm	35		1000		9	250	4		62.5	1.1	10	0.8	2.5
垂直分辨率(Z)，μm	0.35		6.9		0.09	1.7	0.04		0.7	0.011	0.2	0.008	0.17
测量采集点	1.3M (1280 x 1024 pixels)
测量时间，sec	＜10
粗糙度范围Ra，μm	＞0.01 to 3
机械件接口	标准C视频接口
L x W x H，mm	120 x 74 x 173
重量，kg	2.5

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