「CDX」系列,比业界高2.7倍以上,成为目前世界上最高线性精度※非接触式超高精度测量的激光位移传感器。比起以太网通信功能,在WEB服务器上更能简便地读取传感器的测量值和参数设定。
※三角测量方式的漫反射型激光位移传感器。2018年1月本社调查。另外,内容中“线性精度”也称“线性度”,是表示与实际距离的误差的位移传感器的规格。例如测量范围为30±5mm的宽光斑·短距离型CDX-W30A,较实际距离的测量误差:最大为±1.5μm。
应用案例
玻璃基板的平整度测量(正反射模式)
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星之球科技 来源:国际工业自动化网2018-03-27 我要评论(0 )
奥泰斯工业自动化于2018年3月上旬,高精度激光位移传感器「FASTUS CDX系列」正反射型短距离型机型追加上市。「CDX」系列,比业界
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