激光清洗是一种新的清洗方法，它利用激光的方向性和高亮度，通过光剥离、光分解等原理清除材料表面的污染物，具有简单方便无二次污染等独特优点。它可以用于液体、固体和气体，适用范围广，尤其在除锈、除漆、除泥污、微电子汗液晶片表面处理等显出优越性。

传统的清洗方法包括机械清洗法、化学清洗法和超声波清洗法，它们在环境保护和高精度要求方面的应用受到很大的限制。上世纪80年代，人们发现把高能量的激光束聚焦后照射一些物品的被污染部位，使被照射的物质发生振动 、熔化 、蒸发 、燃烧等一系列复杂的物理化学过程，可以使污染物最终脱离物品表面，从而实现对表面污染物的清除，这就是激光清洗，它以自身的许多优点在许多领域中逐步取代传统清洗工艺，展示了广阔的发展前景。

激光具有强度高 、能量密度大 、聚焦性强 、方向性好的特点 ，激光清洗技术是利用激光脉冲的振动 、粒子的热膨胀 、分子的光分解或相变三种作用或它们的联合作用克服污物与基体表面之间的结合力 ， 使污物脱离表面而达到清洗的目的。

人工操作操作简单，手持或自动化工序流程复杂，对操作人员要求高，需作污染防护措施耗费人工人力很辛苦， 需做污染防护措施操作简单，手持或自动化操作简单，但需要人工添加耗材

成本投入首次投入高，无耗材， 维护成本低首次投入低，耗材成本极高首次投入高，耗材人工成本低首次投入中等耗材成本高首次投入低，耗材成本中等系统原理

脉冲激光器发生高能脉冲激光，并通过光纤传导至整形模块，由单轴或双轴扫描振镜反射后照射到工件表面的污垢层，对工件表面的锈、油漆、油污、氧化皮、镀层等附着层产生汽化、光剥离、光分解、光振动后实现清洗的目的。国外各种激光清洗机已经相继问世，并且已经用于很多领域。激光清洗已经从单一的清除硅片掩模表面微粒发展到各个应用领域；可以清除的污物大到油漆等片状物小到纳米量级的微小颗粒；可以清洗污物的种类也是十分广泛，从无机物到有机物，从透明物到不透明物质，甚至用于放射性污染的清除。

在国内，由于对环境保护和对激光技术的认识不足，以及对一次性投入较高的担忧，激光清洗的工业应用还较少。可以预见，随着激光技术的发展，激光成本的下降，激光清洗技术应用会更加广泛。