国产光刻机水平

在全球光刻机领域，世人关注的不外乎荷兰ASML，因为ASML所研发的EUV光刻机是行业内不可逾越的一座大山。想要制造芯片，就离不开光刻机设备，根据芯片种类的不同，使用的光刻机也是不一样的。

比如生产高端5nm芯片就要用上EUV光刻机，生产7nm及以上的，DUV光刻机基本上能够满足。而国产光刻机巨头上海微电子掌握的光刻机水平是第四代ArF光源，波长在193nm。

据市场消息，上海微电子即将在2021年年底左右，发布28nm制程的浸没式光刻机。距离第五代EUV极紫外光源的光刻机，还有一定进步空间。但已经发展到第四代，相信距离第五代的突破，未来也一定能实现。

02高度自研光刻机

就在这时候传来了一则好消息，中国激光巨头大族激光强势崛起，正式对外销售光刻机。

据了解，有投资者向大族激光询问是否考虑研发光刻机。大族激光给出了明确的答案。

大族激光回应表示，该公司研发的光刻机项目分辨率是在3-5um，主要聚焦分立器件，LED领域的应用，目前已经实现小批量销售。

简短的一则回复却透露出很多信息，首先大族激光研发的光刻机主要用于分立器件，LED领域。这部分的市场是撑起国产高端元器件重要的供应链，也是不可或缺的一部分。

需求不亚于手机芯片制造，根据光刻机种类的不同，制造的类目产品也是不一样的。比如日本光刻机巨头佳能推出的高性能光刻机，主要用于生产小型基板。

其次大族激光称实行小批量销售，说明在产品的研发上是取得实际进展的，已经正式对外销售光刻机。后续或许只需要提高产能，扩大基础优势。最后根据公开资料显示，大族激光研发设计并生产的设备，核心零件有90%为自研。所以带来了高度自研产品。

03国产光刻机供应链

从宏观角度来看，大族激光作为一家专业的激光技术公司，其生产的光刻机主要面向封测范畴。但随着业务扩展，相信一定能取得更大的进步，尽早把90%的自产率提升到100%。

光刻机需要用上非常多的技术和零部件，有时候市场上一家顶尖企业，可能只是光刻机其中一个零件或者技术的供应商。因为没有一家公司能够完整拥有所有技术的自产能力。

所以想要制造出顶尖的光刻机，就需要供应链的完备。在这一点上，大族激光其中之一，国内还有五家顶尖的核心零部件研发企业。

包括长春国科精密，这家企业是一家高端光学技术研发单位，复杂曝光光学系统。还有北京科益虹源负责提供光刻机光源系统。北京华卓精科负责生产提供光刻机双工件台，并且延伸出晶圆键合设备，超精密运动平台等。

北京国望光学公司经营光刻机高端镜头，光电仪器和设备等等。浙江启尔机电主要研发光刻机浸没系统。

这五大顶尖企业是国产光刻机供应链的顶梁柱，为国产光刻机保驾护航。如今再有一个大族激光强势崛起，对外开始销售光刻机。这也证明了，国产光刻机还在持续进步，未来属于国产光刻机的舞台，一定会闪亮登场。

04总结

虽然从整体上而言，国产光刻机距离国际主流水平还需要继续发展，但有这些完备的供应链，迟早有一天会迎来属于国产光刻机的未来。

大族激光带来的光刻机同样如此，至少在核心零部件方面已经达到了高度自研水准。随着国家对半导体市场的关注，扶持，一定会投入大量资源助力企业成长。人才、设备、资源等问题，都将迎刃而解。

对此，你有什么看法呢？