传统弧光灯（氙灯、氘灯等）使用电极驱动，限制了亮度、寿命和稳定性等性能，激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）采用无电极结构，利用激光驱动氙灯产生的高温等离子体，保证输出光束具有超宽光谱（1700 nm ~ 2100 nm）、超高亮度、超长寿命（> 9000 h）和超高稳定性，而且LDLS在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上，非常适合应用于宽光谱检测、OCD量测、薄膜测厚、overlay量测、in situ量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域；另外，因为LDLS具有出色的光谱覆盖性、寿命、亮度，所以LDLS非常适合那些目前在使用传统弧光灯，但是苦于频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的客户。推荐应用领域：半导体行业、光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。如对LDLS产品感兴趣，欢迎来滨松光子学商贸（中国）有限公司（NEPCON China展位号：1K10）展台参观LDLS展品。

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